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这种情况比较复杂，因为周围气体介质即使稍微漏入真空腔内，也会使其真空度降低。如果漏入了腐蚀性气体，真空设备就可能损坏。在很多情况下，真空度和真空空间的洁净，对真空条件下进行的各种工艺过程的有决定性的影响。

　　真空器件所使用的机械密封在结构上并无特殊之处。对于上述的一种情况，通常是采用气密性好的金属波纹营型单端面机械密封。第二种情况则要用双端面机械密封，若使用单端面密封，gsx700-680ma机封，势必存在密封端面不能获得润滑的问题。

密封面内圆柱面上的伤痕很可能是外面的杂物进入密封面或安装不当造成的。密封面上的环形沟槽，多数是固体微粒沉积于密封面而引起的。

石墨环（动环）的裂纹是由于传动件的振动，橡胶圈的涨大以及石墨环本身的内应力造成的，gsx700-670mc机封，而结焦则是因高温所致，这在炼油厂的高温热油介质中是常见的。

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多孔端面机械密封的结构特点及性能    　　多孔端面机械密封(lst-ms) 是etsion于1996 年提出的，在动静环的任一面上加工出不同分布形式的微孔，微孔不具有方向性，属于双向旋转的非接触机械密封，可用于气体或液体密封。典型微孔端面密封常采用激光精密加工而成，如图所示。本文主要讲解了多孔端面机械密封的结构特点及性能，揭示其密封机理与动压形成机制。